Датчики температуры Heraeus

Платиновые датчики температуры отличаются высокой точностью, стабильностью и надежностью. Важным преимуществом платины является широкий диапазон измерений, от -196 до 1000°С.
Тонкопленочные датчики температуры изготавливаются методом вакуумного напыления платины на подложку из Al2O3 с последующей фотолитографией по полученной пленке. Термочувствительные дорожки представляют собой протяженный плоский меандр. Электроды и термочувствительные дорожки, таким образом, состоят из одного и того же материала и не имеют дополнительных переходных контактов. После создания рисунка на контактные площадки наносится припойный материал, остальная площадь пассивируется окислом SiO2. Область контактных площадок дополнительно пассивируется стекло-керамической отверждаемой пастой. Конструкция датчика зависит от его целевого назначения. Технологические допуска при изготовлении не превышают 3-х микрон.